Reaktivno magnetronsko brizganje je zrela tehnika za nanašanje tanke sestavljene plasti na širok razpon substratov kot zgornjo plast ali kot vmesno plast v večplastnem premazu. Obseg "tankih" se giblje od nekaj nanometrov do nekaj mikrometrov.
Zakaj magnetron brizga?
Magnetronsko razprševanje je proces trka med vpadnimi delci in tarčami … Magnetronsko razprševanje poveča gostoto plazme z uvedbo magnetnega polja na površino tarčne katode in z uporabo omejitev magnetno polje na nabitih delcih za povečanje hitrosti brizganja.
Kaj pomeni reaktivno brizganje?
Reaktivno brizganje je proces, ki omogoča odlaganje spojin z uvedbo reaktivnega plina (običajno kisika ali dušika) v plazmo, ki ga običajno tvori inerten plin, kot je npr. argon (najpogostejši), ksenon ali kripton.
Kako deluje magnetronsko brizganje?
Magnetronsko razprševanje je tehnologija nanašanja, ki vključuje plinasto plazmo, ki nastane in je omejena na prostor, v katerem je material, ki ga je treba nanesti – 'tarča'. … Ti trki povzročijo elektrostatičen odboj, ki 'odbije' elektrone iz razpršenih plinskih atomov, kar povzroči ionizacijo.
Zakaj RF razprši?
RF ali radiofrekvenčno razprševanje je tehnika, ki vključuje izmenični električni potencial toka v vakuumskem okolju pri radijskih frekvencah, da se prepreči nastanek naboja na določenih vrstah razpršenih ciljnih materialov, kar lahko sčasoma povzroči oblok v plazmi, ki bruha kapljice …
